Adlyte AG progetta, costruisce e fornisce servizi per sorgenti luminose in ultravioletto estremo (EUV) ad alta brillanza basate su plasma prodotto da laser (LPP) per litografia, ispezione di maschere e microscopia EUV. I prodotti includono sistemi LPS e HPS con livelli di brillanza specificati e caratteristiche quali bersagli a goccia di stagno, mitigazione dei detriti e monitoraggio in linea per agevolare integrazione e manutenibilità.
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Prodotti e servizi
Settore:Industria Metalmeccanica
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sorgenti di luce EUV
Sorgenti di luce EUV chiavi in mano per l'industria dei semiconduttori, per la litografia EUV, l'ispezione delle maschere, Aerial Imaging Review, Mask Blank Inspection e la microscopia EUV.
sistemi EUV-LPS e HPS
Sorgenti di luce EUV nelle linee di prodotto LPS e HPS, con diversa luminosità per applicazioni a bassa potenza e a fuoco intermedio.
Servizi per sistemi EUV
Servizi di supporto per ottimizzare l'esercizio, adeguarsi alle esigenze tecniche e ridurre i costi operativi.
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